马波斯(上海)测量设备科技有限公司
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而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离,会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜,返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上,小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱,也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强,在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面,需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅,可以根据反射光的波长,增强或减弱折射率。因此,CCD矩阵上的每一个位置,对应一个测量物体到探头的距离。
光强信号指示灯显示当前光强是否超过5%。当测量样品未在量程范围内,此时不存在测量信号,该指示灯为熄灭状态。当光强信号大于5%,信号灯点亮为绿色,表明测量数据质量较高。当光强信号小于5%时,信号灯则会显示为橙色预警,提示用户当面光强信号较弱,测量数据效果不佳。此时应该当信号灯点亮为红色时,表明当前光强信号为100%。测量数据的质量存在不确定性,因此可以尝试一下方法解决:量程预警信号灯当前样品是否在测量范围内,当样品不在量程范围内时,该信号灯为熄灭状态。当样品位于量程的15%-85%区间时,该信号灯点亮为绿色。而当样品位于量程的15%以下或85%以上时,该信号灯则显示为橙色,此时测量的数据仍是有效的,只不过需要警惕样品超出量程范围。马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,有想法的不要错过哦!

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点对点厚度测量, 2个传感器和2个单通道控制器或1个双通道控制器点对点测量对于边缘区域可使用卡钳结构测量。江西光谱共焦传感器原理
非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准江西光谱共焦传感器原理